フォトンリサーチ株式会社 自 社 製 品 案 内
PHO-DLシリーズ デリバリ光学系
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基本仕様
モデル名  PHO-DLシリーズ ホモジナイザー用デリバリ光学系
適用の光学系  ビームホモジナイザー及び微細加工投影光学システム
レーザー波長  紫外157nmから可視、IR(主にエキシマレーザーとYAG高調波用)
光強密度閾値  平均パワー 400W以内、10ns/2J/Pulse (248nm以下短波長の場合は要問合せ)
耐   久   性  パルス 100Mショット以上 (248nm以下短波長の場合は要問合せ)
スループット  標準タイプ 45°ミラー 三枚時に 95%以上透過率
 各オプション
ビーム減衰系 バリアブルアッテネーター、スループット5%〜90%
コリメータ系 ビームサイズを光学システム要求通りに成形する
観察用光学系 同軸照明、リアルタイム観察用CCDカメラ光学系
光学系ケース ホモジナイザーとデリバリ光学系を一体化収納、カスタマイズ可
他の光学部品 エキシマビーム径に合わせる角型45°全反射ミラー
ビームを分岐したビーム加工システム用ビームスプリッター
微細加工用高解像度(最高解像度1μ)、高倍率(MAX=100倍)投影レンズ
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最終更新日 H21年08月10日