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フォトンリサーチ株式会社 | 自 社 製 品 案 内 |
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| PHO-DLシリーズ デリバリ光学系 | |||
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| 基本仕様 | |||
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| モデル名 | PHO-DLシリーズ ホモジナイザー用デリバリ光学系 |
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| 適用の光学系 | ビームホモジナイザー及び微細加工投影光学システム |
| レーザー波長 | 紫外157nmから可視、IR（主にエキシマレーザーとYAG高調波用） |
| 光強密度閾値 | 平均パワー 400W以内、10ns/2J/Pulse (248nm以下短波長の場合は要問合せ) |
| 耐 久 性 | パルス 100Mショット以上 (248nm以下短波長の場合は要問合せ) |
| スループット | 標準タイプ 45°ミラー 三枚時に 95%以上透過率 |
| 各オプション | |
| ビーム減衰系 | バリアブルアッテネーター、スループット5%〜90% |
| コリメータ系 | ビームサイズを光学システム要求通りに成形する |
| 観察用光学系 | 同軸照明、リアルタイム観察用ＣＣＤカメラ光学系 |
| 光学系ケース | ホモジナイザーとデリバリ光学系を一体化収納、カスタマイズ可 |
| 他の光学部品 | エキシマビーム径に合わせる角型45°全反射ミラー ビームを分岐したビーム加工システム用ビームスプリッター 微細加工用高解像度(最高解像度1μ)、高倍率(MAX＝100倍)投影レンズ |
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| 最終更新日 H21年08月10日 |
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