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フォトンリサーチ株式会社 | 自 社 製 品 案 内 |
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| PHO-OBシリーズ ホモジナイザー観察光学系 | ||
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| 基本仕様 | 概念図 | 正方形 | 線条形 | 転送系 | デリバリ光学系 | 前 頁 | ホーム |
| 特 徴 |
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| ● 当社特殊の光学系でゼロロスでのオンライン観察 ● 高解像度レンズ系で試料面に鮮明な映像でモニタ ● 市販CCD 高倍率レンズも使える高精度低コスト化 |
| 基本仕様 |
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| 適用の光学系 | 円筒形レンズを用いる線条ビームホモジナイザー 蝿目レンズアレーの正方形ビームホモジナイザー その他微細加工・プロセス投影加工光学システム |
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| スループット | オンライン観察で光学ロスはゼロ |
| 光学解像度 | 高解像度タイプでは最高5μmまで |
| 拡大倍率 | 1/3" CCD＋14" CRTで 最大1000倍 |
| 主な応用 | 高精度の位置決め・スケーリング 加工結果のリアルタイムチェック チャンバー内照射面ビームの計測 生産ラインに品質の即時検査装置 |
| 概 念 図 |
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| 最終更新日 H21年08月13日 |
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